Nền tảng EFEM

Nền tảng EFEM của chúng tôi mang lại hiệu suất cực kỳ ổn định và đáng tin cậy trong việc xử lý tấm wafer.

Từ một đến bốn hoặc nhiều hơn các giao diện FOUP hoặc SMIF.

Khả năngcăn chỉnh wafer với độ chính xác cao và tùy chọn lật wafer .

Có sẵn robot 3 trục và 4 trục trong thiết kế tiêu chuẩn.

Môi trường thu nhỏ để kiểm soát ô nhiễm cũng như các tùy chọn bộ lọc ô nhiễm phân tử trong không khí.

Được tối ưu hóa về chi phí và mức độ ô nhiễm để đáp ứng các yêu cầu của phòng sạch tiêu chuẩn ISO.

Wafer tròn300, 200, 150 và 100 mm (có thể tùy chỉnh cho các vật liệu, hình dạng và kích thước khác).

Có thể thích ứng với các công nghệ tấm wafer khác nhau, bao gồm các chiến lược vận chuyển phim-khung, tấm wafer taiko, tấm wafer mỏng/dày, tấm wafer liên kết, tấm wafer không phẳng hoặc tấm wafer có cấu trúc 3D, và tấm wafer thủy tinh.

Giải pháp toàn diện cho kết quả tối ưu

Nền tảng EFEM của chúng tôi có thể hoạt động như một hệ thống EFEM tiêu chuẩn, hoặc có thể được tùy chỉnh để phù hợp với các yêu cầu về độ sạch, kỹ thuật xử lý, năng suất và kích thước của ứng dụng của quý khách. Từ thiết kế đến sản xuất, chúng tôi cung cấp các thiết bị với mức độ phức tạp và độ chính xác đa dạng, đồng thời có thể tích hợp phần cứng, phần mềm, hệ thống thị giác, thiết kế quang học, đo lường dưới micromet, kiểm soát môi trường và xử lý vật liệu cần thiết để đáp ứng nhu cầu của quý khách, từ các thiết bị đơn lẻ đến hệ thống 4 làn.

Đưa sản phẩm ra thị trường nhanh hơn

Với việc tập trung tất cả các khả năng cần thiết tại một nơi, việc cung cấp các sản phẩm hoàn hảo trở nên đơn giản hơn đáng kể. Các tùy chọn của chúng tôi bao gồm:

Một loạt các công nghệ đầu kẹp: Bernoulli, kẹp cạnh hoặc kẹp chân không
Các tùy chọn kiểm soát điện tích ESD
Khả năng tích hợp hệ thống chân không và giảm thiểu ô nhiễm
Bố cục có thể tùy chỉnh để đơn giản hóa quy trình và/hoặc tối ưu hóa diện tích chiếm dụng và hình dạng thiết bị
Hệ thống căn chỉnh độ chính xác cao lên đến 10 µm
Kinh nghiệm trong việc tích hợp hệ thống cách ly rung động

Các tính năng bổ sung: Chuyên môn về thị giác, quang học và trí tuệ nhân tạo (AI)

Ngoài ra, chúng tôi cung cấp các khả năng thiết kế hệ thống quang học và thị giác, bao gồm đầu đọc mã vạch, nhận dạng ký tự quang học (OCR), phân tích và xác định khuyết tật, phát hiện ô nhiễm và đo độ phẳng. Chúng tôi có thể tích hợp công nghệ cảm biến bổ sung theo yêu cầu. Phần mềm phân tích độ tin cậy dự đoán do chính chúng tôi phát triển cho phép giám sát và phản hồi liên tục đối với hệ thống.

Các tùy chọn và tính năng tùy chỉnh:

Nền tảng EFEM
Môi trường	Môi trường thu nhỏ cho hoạt động đạt tiêu chuẩn ISO Class 1 Kiểm soát nhiệt độ Giảm điện tích tĩnh điện
Xử lý wafer	Kích thước tấm wafer: 300, 200, 150, 100 Tương thích với các độ dày khác nhau và các tấm wafer bị cong Các loại vật liệu nền khác nhau (thủy tinh, silicon, cacbua silic, germanium) Các đầu kẹp hoặc các công nghệ kẹp khác nhau (kẹp mép, hút chân không, Bernoulli) Lật wafer Wafer đặc biệt hoặc các chất nền khác (Reticle, khung phim, màn hình, khay JEDEC) Cổng nạp SMIF và FOUP theo tiêu chuẩn công nghiệp Hỗ trợ các mô-đun đặc biệt như máy căn chỉnh độ chính xác cao
Robot	Cánh tay đơn và cánh tay kép 3 trục và 4 trục
Hệ thống thị giác và quang học	Đầu đọc mã vạch Nhận diện điểm tham chiếu OCR Phân tích và xác định đặc tính khuyết tật Phân tích độ phẳng
Yêu cầu và tính năng phần mềm	Thư viện tuân thủ tiêu chuẩn SEMI 300 mm và 200 mm Các giao thức kết nối với bộ điều khiển chủ trong tiêu chuẩn EFEM Giao diện SMEMA và SECS/GEM Khả năng quản lý và theo dõi dữ liệu Tuân thủ tiêu chuẩn SEMI E95 cho Giao diện Người-Máy (HMI) Lập bản đồ wafer