Mỗi hệ thống kiểm tra MEMS của Averna đều được thiết kế dành riêng cho một thiết bị cụ thể, do đó tính mô-đun đã được tích hợp ngay từ ban đầu. Các tính năng dưới đây được kết hợp để phù hợp với loại vỏ và khối lượng sản xuất của từng chương trình.
Kiểm tra đầu dò wafer MEMS khoảng cách chân nhỏ
Các hệ thống thăm dò của Averna di chuyển nhiều đầu dò một cách độc lập theo các trục X, Y và Z, đạt độ chính xác thăm dò dưới 3 µm. Các thuật toán thị giác căn chỉnh các kim thăm dò với nhiều mẫu pad khác nhau. Hệ thống xử lý chấp nhận cả wafer hoặc thiết bị đã đóng gói, và tính năng nạp tự động bằng robot hỗ trợ quá trình thăm dò vi mô MEMS hoàn toàn tự động.
Kích thích vật lý và đặc tính cộng hưởng
Phản ứng của MEMS chỉ có ý nghĩa khi được liên kết với một đầu vào vật lý thực tế. Averna tích hợp các kích thích về chuyển động, áp suất, ánh sáng, độ ẩm và từ tính trực tiếp vào buồng thử nghiệm. Việc thu thập dữ liệu song song cho phép thực hiện đặc tính cộng hưởng trên nhiều kênh cùng lúc, trong khi các bộ chuyển đổi số tốc độ cao ghi lại hành vi tạm thời trong quá trình nghiên cứu và phát triển (R&D).
Kiểm tra micrô MEMS
Microphone cần một trường âm thanh được kiểm soát và cách ly khỏi tiếng ồn xung quanh. Averna tích hợp kích thích âm thanh vào buồng thử nghiệm, do đó độ nhạy và đáp ứng tần số được đo trên từng thiết bị trong quá trình sản xuất.
Điều hòa nhiệt độ và độ tin cậy MEMS
Điều hòa ba nhiệt độ tái tạo các điều kiện hoạt động khắc nghiệt nhất trong môi trường ô tô và hàng không vũ trụ. Các thông số hiệu suất nhiệt được theo dõi chính xác trong suốt mỗi chu kỳ. Thử nghiệm chu kỳ cơ học và thử nghiệm ứng suất môi trường hoàn thiện bức tranh tổng thể, tạo ra dữ liệu độ tin cậy MEMS mà các chương trình cần trước khi phát hành.
MEMS quang học và căn chỉnh chủ động
Đối với các thiết bị quang học dựa trên MEMS, Averna xác nhận độ chính xác của chuyển động và vị trí cùng với đáp ứng điện. Thử nghiệm công tắc quang học bao gồm tổn thất chèn, tổn thất phản xạ và nhiễu chéo trong quá trình chuyển mạch lặp đi lặp lại. Căn chỉnh chủ động các đơn vị mảng sợi quang với mạch tích hợp quang tử giúp tích hợp lắp ráp và thử nghiệm MEMS chính xác vào một quy trình chính xác duy nhất.
Thiết bị kiểm tra MEMS thông lượng cao
Hệ thống lấy và đặt linh kiện tác động nhẹ có thể xử lý các gói linh kiện nhỏ đến 1 x 1 mm, bao gồm cả màng linh hoạt. Cổng vào và ra tương thích với khay, bộ nạp dạng bát, wafer hoặc băng cuộn, và bộ kit chuyển đổi hỗ trợ các gói linh kiện tiêu chuẩn và tùy chỉnh. Luồng khí tầng giúp duy trì khu vực thử nghiệm ở mức ISO 14644-1 Loại 5. Với tư cách là Đối tác Kim cương của NI, Averna Powered by Spherea phát triển phần mềm thử nghiệm trong LabVIEW và TestStand trên các kiến trúc dựa trên PXI, giúp rút ngắn thời gian phát triển ứng dụng.
Khả năng kiểm tra MEMS đã được chứng minh
Các số liệu dưới đây được lấy từ các hệ thống kiểm tra MEMS mà Averna đã thiết kế và chế tạo. Chúng thể hiện mức độ chính xác mà đội ngũ kỹ sư mang lại cho mỗi dự án mới.
Việc kiểm soát chất lượng chính xác và chi phí thấp là yếu tố then chốt khi các thiết bị MEMS được xuất xưởng với số lượng lớn, trong khi mỗi linh kiện vẫn cần được xác nhận và đánh giá đặc tính riêng biệt. Phần lớn chi phí này tập trung vào giai đoạn kiểm tra cuối cùng, nơi cần có kích thích vật lý để chứng minh từng chức năng.
