Mỗi hệ thống kiểm tra MEMS của Averna đều được thiết kế dành riêng cho một thiết bị cụ thể, do đó tính mô-đun đã được tích hợp ngay từ ban đầu. Các tính năng dưới đây được kết hợp để phù hợp với loại vỏ và khối lượng sản xuất của từng chương trình.
Kiểm tra bằng đầu dò trên tấm wafer MEMS có khoảng cách chân cắm nhỏ
Hệ thống dò Averna di chuyển nhiều đầu dò một cách độc lập theo các trục X, Y và Z, đạt độ chính xác dò dưới 3 µm. Các thuật toán thị giác giúp căn chỉnh các kim dò sao cho phù hợp với nhiều mẫu chân tiếp xúc khác nhau. Hệ thống xử lý có thể tiếp nhận cả tấm wafer lẫn các thiết bị đã được đóng gói, và tính năng nạp tự động bằng robot hỗ trợ quá trình dò vi mô MEMS hoàn toàn tự động.
Kích thích vật lý và đặc trưng cộng hưởng
Phản hồi MEMS chỉ có ý nghĩa khi được liên kết với một tín hiệu đầu vào vật lý thực tế. Averna tích hợp các nguồn kích thích cho chuyển động, áp suất, ánh sáng, độ ẩm và từ tính trực tiếp vào buồng thử nghiệm. Quá trình thu thập dữ liệu song song cho phép thực hiện phân tích đặc tính cộng hưởng trên nhiều kênh cùng lúc, trong khi các bộ số hóa tốc độ cao ghi lại hành vi thoáng qua trong quá trình nghiên cứu và phát triển (R&D).
Kiểm tra micrô MEMS
Microphone cần một trường âm thanh được kiểm soát và được cách ly khỏi tiếng ồn xung quanh. Averna tích hợp kích thích âm thanh vào buồng thử nghiệm, nhờ đó độ nhạy và đáp ứng tần số của từng thiết bị được đo lường trong quá trình sản xuất.
Điều hòa nhiệt độ và độ tin cậy của MEMS
Quá trình điều kiện hóa ba nhiệt độ tái tạo các điều kiện hoạt động cực đoan trong môi trường ô tô và hàng không vũ trụ. Các thông số hiệu suất nhiệt được theo dõi chính xác trong suốt mỗi chu kỳ. Các thử nghiệm chu kỳ cơ học và thử nghiệm ứng suất môi trường hoàn thiện bức tranh tổng thể, từ đó tạo ra dữ liệu về độ tin cậy của MEMS mà các chương trình cần có trước khi đưa ra thị trường.
MEMS quang học và căn chỉnh chủ động
Đối với các thiết bị quang học dựa trên công nghệ MEMS, Averna kiểm định độ chính xác về chuyển động và vị trí song song với phản ứng điện. Việc kiểm tra công tắc quang bao gồm các thông số như tổn thất chèn, tổn thất phản xạ và nhiễu chéo trong điều kiện chuyển mạch lặp đi lặp lại. Việc căn chỉnh chủ động các đơn vị mảng sợi quang với mạch tích hợp quang học giúp tích hợp quy trình lắp ráp và kiểm tra chính xác dựa trên công nghệ MEMS thành một quy trình chính xác duy nhất.
Thiết bị kiểm tra MEMS công suất cao
Hệ thống lấy và đặt linh kiện với cơ chế va chạm nhẹ có thể xử lý các gói linh kiện nhỏ đến 1 x 1 mm, bao gồm cả màng linh hoạt. Các cổng đầu vào và đầu ra tương thích với khay, bộ nạp dạng bát, tấm wafer hoặc băng và cuộn, đồng thời các bộ chuyển đổi hỗ trợ cả gói linh kiện tiêu chuẩn và tùy chỉnh. Luồng khí tầng giúp duy trì khu vực thử nghiệm đạt tiêu chuẩn ISO 14644-1 Class 5. Với tư cách là Đối tác Kim cương của NI, Averna Powered by Spherea phát triển phần mềm thử nghiệm trên nền tảng LabVIEW và TestStand dựa trên kiến trúc PXI, giúp rút ngắn thời gian phát triển ứng dụng.
Khả năng kiểm tra MEMS đã được chứng minh
Các số liệu dưới đây được lấy từ các hệ thống thử nghiệm MEMS mà Averna đã thiết kế và chế tạo. Chúng thể hiện mức độ chính xác mà đội ngũ kỹ sư mang lại cho mỗi dự án mới.
Việc kiểm soát chất lượng chính xác và chi phí thấp là yếu tố then chốt khi các thiết bị MEMS được xuất xưởng với số lượng lớn, trong khi mỗi linh kiện vẫn cần được kiểm định và đánh giá đặc tính riêng biệt. Phần lớn chi phí này tập trung vào giai đoạn kiểm tra cuối cùng, nơi cần có các kích thích vật lý để chứng minh từng chức năng.
