Chaque système de test MEMS d'Averna est conçu pour un dispositif spécifique ; la modularité est donc intégrée dès le départ. Les fonctionnalités ci-dessous sont combinées pour s'adapter au type de boîtier et au volume de production de chaque programme.
Tests de sondes sur plaquettes MEMS à pas fin
Les systèmes de sondage Averna déplacent plusieurs sondes de manière indépendante selon les axes X, Y et Z, atteignant une précision de sondage inférieure à 3 µm. Des algorithmes de vision permettent d'aligner les aiguilles des sondes sur une grande variété de configurations de pastilles. Le système prend en charge les plaquettes ou les composants encapsulés, et le chargement robotisé permet un micro-sondage MEMS entièrement automatisé.
Stimulus physique et caractérisation de la résonance
Une réponse MEMS n'a de sens que lorsqu'elle est liée à une entrée physique réelle. Averna intègre directement dans la cellule de test des sources de stimulation pour le mouvement, la pression, la lumière, l'humidité et le magnétisme. L'acquisition parallèle permet de réaliser la caractérisation résonante sur plusieurs canaux simultanément, tandis que des numériseurs à haute vitesse capturent le comportement transitoire pendant la phase de R&D.
Tests des microphones MEMS
Les microphones nécessitent un champ acoustique contrôlé et une isolation vis-à-vis des bruits ambiants. Averna intègre un stimulus acoustique dans la cellule d'essai, ce qui permet de mesurer la sensibilité et la réponse en fréquence de chaque appareil au cours de la production.
Conditionnement thermique et fiabilité des MEMS
Le conditionnement à trois températures reproduit les conditions extrêmes de fonctionnement rencontrées dans les secteurs automobile et aérospatial. Les paramètres de performance thermique sont suivis avec précision tout au long de chaque cycle. Des essais de cycles mécaniques et de résistance aux contraintes environnementales complètent le tableau, fournissant ainsi les données de fiabilité des MEMS dont les programmes ont besoin avant leur mise sur le marché.
MEMS optiques et alignement actif
Pour les dispositifs optiques basés sur la technologie MEMS, Averna vérifie la précision du mouvement et de la position, ainsi que la réponse électrique. Les tests des commutateurs optiques portent sur la perte d'insertion, la perte de retour et la diaphonie lors de commutations répétées. L'alignement actif des modules de réseaux de fibres sur les circuits intégrés photoniques permet de regrouper l'assemblage et les tests de précision MEMS au sein d'un processus unique et précis.
Équipements de test MEMS à haut débit
Le système de placement à impact doux prend en charge des boîtiers aussi petits que 1 x 1 mm, y compris les films flexibles. Les entrées et sorties s'adaptent aux plateaux, aux alimentateurs à cuvette, aux plaquettes ou aux bandes et bobines, et des kits de conversion permettent de prendre en charge les boîtiers standard et sur mesure. Un flux d’air laminaire maintient la zone de test conforme à la norme ISO 14644-1 Classe 5. En tant que partenaire Diamond de NI, Averna Powered by Spherea développe des logiciels de test sous LabVIEW et TestStand sur des architectures basées sur PXI, ce qui accélère le développement des applications.
Capacités éprouvées en matière de tests MEMS
Les illustrations ci-dessous proviennent de systèmes de test MEMS déjà conçus et réalisés par Averna. Elles illustrent le niveau de précision que l'équipe d'ingénieurs apporte à chaque nouveau projet.
Un contrôle qualité précis et peu coûteux est essentiel lorsque les dispositifs MEMS sont commercialisés en grandes quantités, chaque pièce devant néanmoins faire l'objet d'une validation et d'une caractérisation individuelles. La majeure partie de ce coût est liée aux tests finaux, qui nécessitent l'application de stimuli physiques pour vérifier chaque fonction.
