Chaque système de test MEMS d'Averna est conçu pour un dispositif spécifique ; la modularité est donc intégrée dès le départ. Les fonctionnalités ci-dessous sont combinées pour s'adapter au boîtier et au volume de production de chaque programme.
Test sous pointes de wafers MEMS à pas fin
Les systèmes de test Averna déplacent plusieurs pointes de manière indépendante selon les axes X, Y et Z, avec une précision de positionnement inférieure à 3 µm. Des algorithmes de vision alignent les aiguilles sur une grande variété de configurations de plots. Le système prend en charge aussi bien les wafers que les composants encapsulés, et le chargement robotisé permet un micro-sondage MEMS entièrement automatisé.
Stimulation physique et caractérisation en résonance
La réponse d’un MEMS n’a de sens que lorsqu’elle est liée à une entrée physique réelle. Averna intègre directement dans la cellule de test des stimuli de mouvement, de pression, de lumière, d’humidité et de magnétisme. L’acquisition parallèle permet d’effectuer la caractérisation résonante sur de nombreux canaux simultanément, tandis que des numériseurs à haute vitesse capturent le comportement transitoire pendant la R&D.
Tests de microphones MEMS
L’acoustique fait partie des stimuli physiques qu’Averna intègre pour la caractérisation des MEMS. Associée au test en parallèle de plusieurs composants, elle permet de tester les microphones MEMS à cadence de production.
Conditionnement thermique et fiabilité des MEMS
Le conditionnement à trois températures reproduit les conditions de fonctionnement extrêmes des environnements automobiles et aérospatiaux. Les paramètres de performance thermique sont suivis avec précision tout au long de chaque cycle. Les essais de cycles mécaniques et de contraintes environnementales complètent le tableau, générant les données de fiabilité des MEMS dont les programmes ont besoin avant la mise sur le marché.
MEMS optiques et alignement actif
Pour les dispositifs optiques basés sur des MEMS, Averna valide la précision du mouvement et de la position ainsi que la réponse électrique. Les tests des commutateurs optiques portent sur la perte d’insertion, la perte de retour et la diaphonie lors de commutations répétées. L’alignement actif des réseaux de fibres optiques sur les circuits intégrés photoniques permet de regrouper l’assemblage et les tests de précision des MEMS au sein d’un seul processus de précision.
Équipements de test MEMS à haut débit
Un système de placement à impact doux prend en charge des boîtiers aussi petits que 1 x 1 mm, y compris les feuilles flexibles. Les entrées et sorties s’adaptent aux plateaux, aux alimentateurs à cuvette, aux plaquettes ou aux bandes et bobines, et des kits de conversion prennent en charge les boîtiers standard et sur mesure. Un flux d’air laminaire maintient la zone de test conforme à la norme ISO 14644-1 Classe 5. En tant que partenaire Diamond de NI, Averna Powered by Spherea développe des logiciels de test sous LabVIEW et TestStand sur des architectures basées sur PXI, ce qui accélère le développement des applications.
Des capacités de test MEMS éprouvées
Les chiffres ci-dessous proviennent de systèmes de test MEMS qu’Averna a déjà conçus et construits. Ils illustrent le niveau de précision que l’équipe d’ingénieurs apporte à chaque nouveau projet.
Un contrôle qualité précis et peu coûteux est essentiel lorsque les systèmes microélectromécaniques sont expédiés en grands volumes, chaque pièce devant néanmoins faire l'objet d'une validation et d'une caractérisation individuelles. La majeure partie de ce coût est liée au test final, qui nécessite un stimulus physique pour vérifier chaque fonction.
